半導体CMP用語事典
- 編者: 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
- 書籍
- 出版社:オーム社
- 発売日: 2008年10月
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この商品の説明
加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。付録には、現場実務に必要なデータや関連する単位、CMP装置の年表や、関連学協会機関略称一覧などの便利な情報を掲載。巻末の索引には、英和用語索引を掲載し、使いやすく調べやすい構成。
著者/アーティスト
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:262p
- 大きさ:19cm(B6)
- 出版社:オーム社
- ISBN-10:4274206122
- ISBN-13:9784274206122
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