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この商品の説明
目次
第1章 序論(マイクロプラズマの定義とその特徴;マイクロプラズマの生成 ほか);第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象(高密度媒質による特徴;微小性による特徴 ほか);第3章 マイクロプラズマの生成(気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術;液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術 ほか);第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション(プラズマメータの計測;気相・表面近傍での反応活性種の計測 ほか);第5章 マイクロプラズマの応用(材料プロセス応用;微量化学分析・センサへの応用 ほか)
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:260p
- 大きさ:21cm(A5)
- 出版社:オーム社
- ISBN-10:427420703X
- ISBN-13:9784274207037
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