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この商品の説明
著者/アーティスト
監修: 金原粲 、 編者: 吉田貞史 、 編者: 近藤高志 、 編者: 日本学術振興会薄膜第１３１委員会
目次
1 薄膜工学の基礎(薄膜の基礎;薄膜のプロセスと応用);2 薄膜の作製法(真空蒸着;スパッタリング;化学気相成長法);3 薄膜の評価(形状・構造評価;組成評価・分析;力学的・機械的性質の評価);4 薄膜の機能と応用(半導体薄膜;光学薄膜と透明導電膜;誘電体薄膜;磁性薄膜;薄膜の化学的性質と機能;有機薄膜)
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:２９５ｐ
- 大きさ:２１ｃｍ（Ａ５）
- 出版社:丸善出版
- ISBN-10:4621084143
- ISBN-13:9784621084144
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