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この商品の説明
MEMSはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用をMEMS研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのMEMS」続編。
目次
第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合);第2章 次世代携帯機器;第3章 センサネットワーク・高機能センサ;第4章 光マイクロシステム;第5章 バイオ・医療用マイクロシステム;第6章 製造・検査装置;第7章 高度化と有効活用への道
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:１５１ｐ
- 大きさ:２１ｃｍ（Ａ５）
- 出版社:森北出版
- ISBN-10:4627775512
- ISBN-13:9784627775510
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