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この商品の説明
目次
第１章 はじめに；第２章 薄膜技術の基礎（薄膜技術における真空、気体の性質；原子・分子の励起・電離と衝突過程 ほか）；第３章 薄膜形成技術（薄膜形成の基礎；各種薄膜形成技術―Ｉ（ＰＶＤ） ほか）；第４章 加工技術（はじめに；ドライエッチング技術の基礎 ほか）；第５章 薄膜技術の応用（センサ；半導体デバイス ほか）
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:２５８ｐ
- 大きさ:１９ｃｍ（Ｂ６）
- 出版社:工業調査会
- ISBN-10:4769311575
- ISBN-13:9784769311577
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