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ゴジラ×コング

半導体研究(44)

編者: 西澤潤一  
書籍 
出版社:工業調査会
発売日: 1998年4月
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  • 価格(税込):20,900円
  • Vポイント:95pt
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この商品の説明

本書は、これからのギガビット時代に向けて、回路、デバイス、プロセスの多方面にわたり、基礎から考えるものである。

著者/アーティスト

編者: 西澤潤一

目次

1章 サブ0.1μm CMOS‐LSIのデバイス・回路技術;2章 SIMOX技術を用いた高性能・低消費電力LSI;3章 強誘電体不揮発メモリのプロセスデバイス技術;4章 トンネルゲート酸化膜MOSFET技術;5章 SiO2ホール内でのエッチング表面反応;6章 コンピュータと実験を最適に動員するCVDモデリング;7章 酸化マンガン研磨剤を用いたCMP技術;8章 ULSIデバイスにおける埋め込み多層配線技術;9章 Al系配線の高信頼化技術

商品仕様

  • アイテム名:書籍
  • ページ数:404p
  • 大きさ:26cm(B5)
  • 出版社:工業調査会
  • ISBN-10:476931163X
  • ISBN-13:9784769311638

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