- 価格（税込）：2,530円
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この商品の説明
著者/アーティスト
著者: 江刺正喜
目次
第１章 マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）；第２章 ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合プロセス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）；第３章 ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）；第４章 ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:２３０ｐ
- 大きさ:２１ｃｍ（Ａ５）
- 出版社:工業調査会
- ISBN-10:4769312873
- ISBN-13:9784769312871
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