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この商品の説明
著者/アーティスト
監修: 権田俊一
目次
第1編 薄膜材料の特性と特徴(薄膜の特徴と特性;薄膜材料の電気特性 ほか);第2編 薄膜の作製と加工(基板と表面処理;PVD法 ほか);第3編 薄膜・表面・界面の分析と評価(薄膜・表面・界面の分析・評価;薄膜分析・評価対象各論);第4編 薄膜技術の応用と展望(半導体デバイス;光部品 ほか)
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:1330p
- 大きさ:26cm(B5)
- 出版社:エヌ・ティー・エス
- ISBN-10:4860430190
- ISBN-13:9784860430191
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