マイクロマシン技術総覧
- ナノテクノロジーの基盤技術
- 編者： マイクロマシン技術総覧編集委員会
- 書籍
- 出版社：産業技術サービスセンター
- 発売日： 2007年9月
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- 価格（税込）：51,700円
- Vポイント：235pt
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この商品の説明
著者/アーティスト
編者: マイクロマシン技術総覧編集委員会
目次
総論 マイクロテクノロジーへの展開；第１編 基礎編（マイクロ理工学；マイクロ材料）；第２編 微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工・ビーム加工；エッチング；ＰＶＤ、ＣＶＤ；ＬＩＧＡプロセス；マイクロ光造形）；第３編 マイクロマシンの要素（総論―ナノ・マイクロマシンを設計する；マイクロメカニズム；マイクロアクチュエータ；マイクロマニピュレーション；マイクロ計測）；第４編 マイクロマシン応用例（マイクロアクチュエータの応用；マイクロ要素・デバイス；マイクロセンサデバイス；マイクロシステム；その他）
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:７５３ｐ
- 大きさ:２６ｃｍ（Ｂ５）
- 出版社:産業技術サービスセンター
- ISBN-10:4915957403
- ISBN-13:9784915957406
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